Vistec Electron Beam GmbH ist einer der führenden Anbieter von Elektronenstrahl-Lithographiesystemen für Mikro- und Nanostrukturierung auf Halbleitersubstraten, Photomasken und optisch relevanten Materialien.
Produkte/Dienstleistungen:
Produkte
vollautomatische Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen für die maskenlose Lithographie sowie Photomasken-Herstellung in der Halbleiterindustrie
Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen für die Optik, spezielle Applikationen und die Angewandte Forschung
