Vistec Electron Beam GmbH

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Vistec Electron Beam GmbH
Wolfgang Dorl, Matthias Slodowski
Geschäftsführer
Ilmstraße 4
07743 Jena
+49 (0) 3641 7998 0
+49 (0) 3641 7998 222
http://www.vistec-semi.com

Vistec Electron Beam GmbH ist einer der führenden Anbieter von Elektronenstrahl-Lithographiesystemen für Mikro- und Nanostrukturierung auf Halbleitersubstraten, Photomasken und optisch relevanten Materialien.

Produkte/Dienstleistungen:

Produkte

  • vollautomatische Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen für die maskenlose Lithographie sowie Photomasken-Herstellung in der Halbleiterindustrie
  • Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen für die Optik, spezielle Applikationen und die Angewandte Forschung

    Vistec SB3xxx Geräteserie
    Vistec SB2xx Geräteserie
Dienstleistungen
  • Entwicklung, kundenspezifische Anpassungen, Herstellung und Verkauf von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen
  • DKD Kalibrierlabor für Positionsstandards

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